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掃描電鏡的真空系統主要包括真空泵和真空柱
點擊次數：1851 更新時間：2023-04-23
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。掃描電鏡主要由七大系統組成，即電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統、電源供給系統。
掃描電鏡低壓束流極大增強，分辨率提高，寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導電的樣品，特別是操作系統的自動化速度和準確性，簡單3步即可完成，不僅提高作業速度，而且方便初學者操作。
主要特點：
1、低電壓低真空表現優異，可觀察不良導體的表面形貌和細節信息.
1、自動化功能速度快，自動準確度高，適合高吞吐量工作和電鏡操作基礎薄弱者操作。
應用領域：
1、生物醫學
2、食品衛生
3、電子半導體
4、汽車制造
5、新能源
真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求，但對于裝置了場致發射槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃描電鏡，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統和電子束系統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室，用于放置樣品。
